産品(pin)時間:2025-12-01
FS4001系列測(cè)量氣體(ti)流量傳(chuan)感器是(shì)專門爲(wèi)各類小(xiao)流量氣(qi)體的🔴測(ce)量和過(guò)程控制(zhi)而設計(ji)的。這一(yī)系列傳(chuán)感器均(jun)采用本(běn)公🚶♀️司自(zi)主研發(fā)的微機(jī)電系統(tong)(MEMS)流量傳(chuán)感芯片(pian)來制作(zuo),适用于(yú)各類清(qing)潔氣體(tǐ)。
簡介:
FS4001系(xì)列測量(liang)氣體流(liú)量傳感(gan)器 是專門(mén)爲各類(lèi)小流量(liang)氣體的(de)測量和(he)過程控(kòng)制而設(shè)🌈計的。這(zhè)一系列(liè)傳感器(qì)均采用(yong)本公司(sī)自主研(yán)發的微(wei)機電系(xì)統( MEMS )流量傳(chuán)感芯片(piàn)來制作(zuò)。
FS4001系列測(cè)量氣體(ti)流量傳(chuan)感器 适用(yòng)于各類(lèi)清潔氣(qì)體。*的封(fēng)裝技術(shù)使之可(kě)用于各(gè)📱類管徑(jìng),成本⛹🏻♀️低(dī)、易安裝(zhuang)、不需要(yao)溫度壓(yā)力補償(cháng),可替代(dài)容⁉️積式(shi)或壓👅差(cha)式的傳(chuan)統流量(liàng)傳感器(qi)。
産品(pǐn)特點:
-
傳感(gan)器靈敏(mǐn)度高
,
有極(jí)小的始(shǐ)動流量(liàng)
-
傳(chuán)感器芯(xin)片采用(yòng)熱質量(liang)流量計(ji)量
,
無需溫(wen)度壓力(lì)補償
,
保證(zhèng)了傳
-
感器(qì)的高精(jing)度計量(liang)
-
在(zai)單個芯(xīn)片上實(shi)現了多(duō)傳感器(qi)集成
,
使傳(chuan)感器的(de)量程比(bǐ)大大提(tí)高
-
傳感器(qì)的零點(diǎn)穩定度(du)高
-
全量程(cheng)高穩定(dìng)性
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全量程(chéng)高精确(què)度和優(yōu)良的重(zhong)複性
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低功(gōng)耗
-
低壓損(sǔn)
-
響(xiǎng)應時間(jian)快
主要參(cān)數:
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性能(neng)參數 |
FS4001 |
單(dan)位 |
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通 徑(jìng) |
1.0 |
1.8 |
mm |
|
大流量(liang) |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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量程比(bi) |
>100:1 |
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精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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重(zhong)複性 |
0.25 |
%讀(du)數 |
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零點(dian)輸出飄(piāo)移 |
±30 |
mV |
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輸出(chu)飄移 |
±0.12 |
%/oC |
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響(xiang)應時間(jian) |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作電(diàn)源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸出(chu)方式 |
線(xiàn)性,RS232/模拟(nǐ)電壓0.5~4.5Vdc |
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大(da)流量壓(yā)損 |
350 |
300 |
pa |
|
大工(gōng)作壓力(lì) |
0.5 |
MPa |
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工作溫(wēn)度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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存儲(chu)溫度 |
-20 ~ +65 |
oC |
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工(gong)作濕度(du) |
<95%RH(無結冰(bīng)、無凝露(lu)) |
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機械接(jiē)口 |
可拆(chai)式軟管(guan)接頭 |
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校(xiào)準方式(shì) |
空氣(或(huo)其他氣(qì)體),20oC,101.325kPa |
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重量(liang) |
15 |
g |
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