産品簡(jiǎn)介:
FS4001系列(liè) 氣體流(liu)量監測(ce)傳感器(qi) )流(liu)量傳感(gan)芯片來(lái)制作。
FS4001系(xì)列 氣體(tǐ)流量監(jian)測傳感(gǎn)器
産品特(tè)點:
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傳感器(qì)靈敏度(du)高
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傳感(gan)器芯片(piàn)采用熱(rè)質量流(liu)量計量(liàng)
,
,
保證了(le)傳
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在單(dān)個芯片(pian)上實現(xian)了多傳(chuan)感器集(jí)成
,
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傳(chuán)感器的(de)零點穩(wěn)定度高(gāo)
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全(quan)量程高(gāo)穩定性(xìng)
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低功耗(hao)
低(dī)壓損
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響應(ying)時間快(kuài)
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性(xing)能參數(shu) |
FS4001 |
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通(tong) 徑 |
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1.8 |
mm |
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30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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量程(chéng)比 |
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精 度(du) |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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0.25 |
%讀數 |
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零(ling)點輸出(chu)飄移 |
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mV |
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輸(shu)出飄移(yi) |
±0.12 |
%/oC |
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響應時(shí)間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
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工作(zuò)電源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸(shū)出方式(shi) |
線性,RS232/模(mó)拟電壓(yā)0.5~4.5Vdc |
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大流量(liang)壓損 |
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300 |
pa |
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大(dà)工作壓(ya)力 |
0.5 |
MPa |
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oC |
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存(cun)儲溫度(dù) |
-20 ~ +65 |
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<95%RH(無結(jie)冰、無凝(níng)露) |
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可(kě)拆式軟(ruan)管接頭(tou) |
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校準方(fang)式 |
空氣(qi)(或其他(tā)氣體),20oC,101.325kPa |
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重(zhòng)量 |
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g |
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