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氣體流(liú)量監測(ce)傳感器(qì)

産品時(shi)間:2025-12-01

簡要(yao)描述:

FS4001系(xi)列氣體(ti)流量監(jian)測傳感(gǎn)器适用(yong)于各類(lèi)清潔氣(qì)體。*的封(feng)裝技🧡術(shu)💔使之可(ke)用于各(ge)類管徑(jing),成本低(di)、易安裝(zhuang)、不需要(yao)溫💃🏻度壓(ya)力補☀️償(chang),可💁替代(dài)容積式(shi)或壓差(chà)式的傳(chuán)統流量(liàng)傳感器(qì)。

産品簡(jiǎn)介:

FS4001系列(liè) 氣體流(liu)量監測(ce)傳感器(qi) 是(shi)專門爲(wèi)各類小(xiao)流量氣(qì)體的測(ce)量和過(guò)程控制(zhì)而🔆設計(ji)的。這一(yi)🌏系列傳(chuan)感器均(jun)采用本(běn)公司自(zì)主研發(fā)的微機(ji)電系統(tǒng)( MEMS )流(liu)量傳感(gan)芯片來(lái)制作。

FS4001系(xì)列 氣體(tǐ)流量監(jian)測傳感(gǎn)器 适用于(yu)各類清(qīng)潔氣體(tǐ)。*的封裝(zhuāng)技術使(shǐ)之可用(yòng)于各類(lei)㊙️管徑,成(chéng)本低、易(yì)安裝、不(bu)需要溫(wēn)度壓力(lì)補償,可(kě)替代容(rong)📐積式或(huo)壓差式(shi)的傳統(tǒng)流量傳(chuán)感器。


産品特(tè)點:
  - 傳感器(qì)靈敏度(du)高 , 有極小(xiao)的始動(dong)流量
  - 傳感(gan)器芯片(piàn)采用熱(rè)質量流(liu)量計量(liàng) , 無(wu)需溫度(dù)壓力補(bǔ)償 , 保證了(le)傳
  - 感器的(de)高精度(du)計量
  - 在單(dān)個芯片(pian)上實現(xian)了多傳(chuan)感器集(jí)成 , 使傳感(gan)器的量(liang)程比大(dà)大提高(gao)
  - 傳(chuán)感器的(de)零點穩(wěn)定度高(gāo)
  - 全(quan)量程高(gāo)穩定性(xìng)
  - 全(quán)量程高(gao)精确度(du)和優良(liáng)的重複(fu)性
  - 低功耗(hao)
  - 低(dī)壓損
  - 響應(ying)時間快(kuài)

機(ji)械尺寸(cùn):


主要(yao)參數:

性(xing)能參數(shu)

單位

通(tong) 徑

1.0

1.8

30, 100, 200

500, 1000

SLPM

量程(chéng)比

>100:1

 

精 度(du)

±(1.5+0.2FS)

%

零(ling)點輸出(chu)飄移

±30

mV

輸(shu)出飄移(yi)

±0.12

%/oC

響應時(shí)間

4, 8, 16, 33 , 65 , 131

mses

工作(zuò)電源

8~18Vdc,50mA

 

線性,RS232/模(mó)拟電壓(yā)0.5~4.5Vdc

 

大流量(liang)壓損

350

300

pa

大(dà)工作壓(ya)力

0.5

MPa

工作(zuò)溫度

oC

存(cun)儲溫度(dù)

-20 ~ +65

工作濕(shi)度

<95%RH(無結(jie)冰、無凝(níng)露)

 

機械(xiè)接口

可(kě)拆式軟(ruan)管接頭(tou)

 

校準方(fang)式

空氣(qi)(或其他(tā)氣體),20oC,101.325kPa

 

重(zhòng)量

15

g

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