産品時(shi)間：2025-12-01
FS4001系列小(xiao)流量氣體(tǐ)質量流量(liang)傳感器是(shi)專門爲各(gè)類小💚流量(liang)氣體的測(cè)量和過程(cheng)控制而設(she)計的。這一(yi)系列傳感(gǎn)器💃均采用(yong)本公司自(zi)主研發的(de)微機電系(xì)統🙇🏻（MEMS）流量傳(chuan)感芯片來(lái)制作，适用(yong)于各類清(qīng)潔氣體。*的(de)封裝技術(shù)使之可用(yong)于各類管(guǎn)徑，成本低(di)、易安裝、不(bu)需✊要溫度(dù)壓力🏃補償(cháng)，可替代容(rong)積式或壓(yā)差式的傳(chuán)統流量傳(chuán)感器📐。
FS4001系列(lie)小流量氣(qi)體質量流(liú)量傳感器(qì) 是專門爲(wèi)各類小流(liu)量氣體的(de)測量和過(guò)程控制而(er)💚設計的😄。這(zhe)一系列傳(chuán)感器均采(cǎi)用本公司(si)自主研發(fa)的微🏃♂️機電(diàn)系統（MEMS）流量(liang)傳感💚芯片(pian)來制作，适(shi)用于各類(lei)清潔氣體(ti)。*的封裝技(ji)術使之可(ke)用于各類(lèi)管徑，成本(běn)♍低、易安裝(zhuāng)、不需要溫(wēn)度壓力補(bu)償，可替代(dài)容積式或(huo)👄壓差式的(de)傳統流量(liàng)傳感器。
産(chan)品特點
FS4001系列小(xiǎo)流量氣體(ti)質量流量(liang)傳感器
靈(líng)敏度高,有(yǒu)小的始動(dong)流量傳感(gan)器芯片采(cǎi)用熱質量(liàng)流量計量(liang)🔅,無需溫度(dù)壓力補償(chang),保證了傳(chuan)感器的高(gao)精度計量(liang)在單個芯(xin)片🔅上實現(xiàn)了多傳感(gǎn)器集成,使(shi)傳感器的(de)量🏃程比大(da)大提高傳(chuán)感器🍓的零(líng)點穩定度(du)高全量程(chéng)高穩定性(xìng)全量程高(gāo)精确度和(he)優良的重(zhòng)複性低功(gōng)耗低壓損(sun)響應時間(jian)快
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單位 |
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1.0 |
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30, 100, 200 |
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SCCM |
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量程比 |
≥100:1 |
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±(1.5+0.2FS) |
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零點(dian)輸出飄移(yí) |
mV |
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輸出飄移(yí) |
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響應時間(jiān) |
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工作電源(yuán) |
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線性，RS232/模拟(nǐ)電壓0.5~4.5Vdc |
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350 |
pa |
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大(da)工作壓力(lì) |
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MPa |
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-10 ~ +55 |
oC |
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存儲溫度(du) |
oC |
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<95%RH（無結冰、無(wu)凝露） |
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可拆(chāi)式軟管接(jie)頭 |
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空氣（或(huo)其他氣體(ti)），20oC，101.325kPa |
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重量 |
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86-020-31199948/85550363
86-020-85628533
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