産品時(shi)間:2025-12-01
FS4001系列小(xiao)流量氣體(tǐ)質量流量(liang)傳感器是(shi)專門爲各(gè)類小💚流量(liang)氣體的測(cè)量和過程(cheng)控制而設(she)計的。這一(yi)系列傳感(gǎn)器💃均采用(yong)本公司自(zi)主研發的(de)微機電系(xì)統🙇🏻(MEMS)流量傳(chuan)感芯片來(lái)制作,适用(yong)于各類清(qīng)潔氣體。*的(de)封裝技術(shù)使之可用(yong)于各類管(guǎn)徑,成本低(di)、易安裝、不(bu)需✊要溫度(dù)壓力🏃補償(cháng),可替代容(rong)積式或壓(yā)差式的傳(chuán)統流量傳(chuán)感器📐。
産品(pin)簡介:
FS4001系列(lie)小流量氣(qi)體質量流(liú)量傳感器(qì) 是專門爲(wèi)各類小流(liu)量氣體的(de)測量和過(guò)程控制而(er)💚設計的😄。這(zhe)一系列傳(chuán)感器均采(cǎi)用本公司(si)自主研發(fa)的微🏃♂️機電(diàn)系統(MEMS)流量(liang)傳感💚芯片(pian)來制作,适(shi)用于各類(lei)清潔氣體(ti)。*的封裝技(ji)術使之可(ke)用于各類(lèi)管徑,成本(běn)♍低、易安裝(zhuāng)、不需要溫(wēn)度壓力補(bu)償,可替代(dài)容積式或(huo)👄壓差式的(de)傳統流量(liàng)傳感器。
産(chan)品特點 :
FS4001系列小(xiǎo)流量氣體(ti)質量流量(liang)傳感器
靈(líng)敏度高,有(yǒu)小的始動(dong)流量傳感(gan)器芯片采(cǎi)用熱質量(liàng)流量計量(liang)🔅,無需溫度(dù)壓力補償(chang),保證了傳(chuan)感器的高(gao)精度計量(liang)在單個芯(xin)片🔅上實現(xiàn)了多傳感(gǎn)器集成,使(shi)傳感器的(de)量🏃程比大(da)大提高傳(chuán)感器🍓的零(líng)點穩定度(du)高全量程(chéng)高穩定性(xìng)全量程高(gāo)精确度和(he)優良的重(zhòng)複性低功(gōng)耗低壓損(sun)響應時間(jian)快
主要參(cān)數:
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性能參(cān)數 |
FS4001 |
單位 |
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通(tong) 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
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大流量(liang) |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SCCM |
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量程比 |
≥100:1 |
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精(jīng) 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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重複性(xìng) |
0.25 |
%讀數 |
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零點(dian)輸出飄移(yí) |
±30 |
mV |
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輸出飄移(yí) |
±0.12 |
%/oC |
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響應時間(jiān) |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作電源(yuán) |
8~18Vdc,50mA |
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輸出方式(shi) |
線性,RS232/模拟(nǐ)電壓0.5~4.5Vdc |
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大流(liu)量壓損 |
350 |
300 |
pa |
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大(da)工作壓力(lì) |
0.5 |
MPa |
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工作溫度(du) |
-10 ~ +55 |
oC |
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存儲溫度(du) |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕度(du) |
<95%RH(無結冰、無(wu)凝露) |
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機械(xiè)接口 |
可拆(chāi)式軟管接(jie)頭 |
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校準方(fāng)式 |
空氣(或(huo)其他氣體(ti)),20oC,101.325kPa |
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重量 |
15 |
g |
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機械(xie)尺寸:
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