流量(liàng)測量技(ji)術之 微小(xiǎo)流量 的測(ce)量     
半導體(ti)制造業(ye)、生物工(gōng)程、精細(xi)化工等(děng)的興起(qi)，使流量(liang)測✌️量向(xiàng)低端延(yan)伸，小流(liu)量計流(liú)量的要(yao)求在上(shang)世紀 80 ∽ 90 年代凸(tu)顯起來(lái)。何謂小(xiao)流量 ? 業界(jiè)尚無*的(de)定義和(he)界限，小(xiǎo)流量因(yin)應用領(ling)域而異(yì)是💔一個(gè)模糊的(de)概念。管(guǎn)道小流(liú)量測量(liang)體現于(yu)管徑小(xiǎo)和♌流速(sù)低兩⭐個(gè)層次，就(jiù)流程工(gong)業而言(yán)，習慣上(shang) DN10 甚(shen)至 DN15 以下管(guan)徑流量(liàng)測量稱(cheng)之小流(liú)量測量(liàng)，通常其(qí)流量值(zhí)液體爲(wèi) 1L/min 或(huò) 0.06m3/h 以(yǐ)下，流量(liàng)儀表滿(mǎn)度流量(liang)時的流(liú)速低于(yú) 0.1m/s 。
1 、測量(liang)方法
傳統(tǒng)小流量(liàng)測量技(ji)術節流(liú)差壓 ( 層流(liu) ) 法(fǎ)、浮子法(fǎ)和容積(jī)法等有(yǒu)了的改(gai)進，新測(ce)量技術(shu)如超聲(sheng)法👨‍❤️‍👨、熱法(fǎ)、科裏奧(ao)利法等(děng)也有成(chéng)效地應(yīng)于液體(tǐ)和氣體(ti)小流量(liàng)測量。
2 、特點(diǎn)
微(wēi)小流量(liang)與一般(bān)流量測(cè)量相比(bǐ)較，具有(you)以下特(te)點👣。
1) 雷諾數(shu)低
一般管(guǎn)道流動(dòng)均爲紊(wen)流流動(dòng)，流量儀(yí)表也是(shi)針對紊(wěn)流流👣動(dong)态設計(ji)的，而小(xiǎo)流量儀(yí)表因管(guǎn)徑小常(cháng)處于層(céng)流流⛷️動(dong) ( 例(lì)如管内(nei)徑 6mm ，流量 0.05L/min ， Re 爲 1800 或層流(liu) / 紊(wěn)流過渡(dù)區流态(tai)流動，小(xiao)流量測(cè)量受使(shi)用中流(liú)體🐇黏度(du)💰變化影(yǐng)響頗大(da)。
2) 要(yao)用實際(ji)使用流(liú)體校準(zhun)
液(ye)體流量(liàng)儀表一(yi)般用水(shuǐ)校準，氣(qi)體用空(kōng)氣校準(zhǔn)。若🤟知道(dào)實💛際測(cè)量流體(ti)與校準(zhǔn)流體間(jian)某些物(wù)性不同(tóng)對示值(zhí)有規律(lǜ)🙇🏻變化時(shí)，中🙇‍♀️大管(guǎn)徑流量(liàng)儀表常(chang)以适當(dang)系數修(xiū)正。但有(yǒu)些小流(liú)量儀表(biǎo)受黏度(du)等流體(ti)物性影(ying)響大，須(xū)以實際(jì)使用流(liu)體校準(zhǔn)。所幸流(liu)量小，用(yong)實際使(shǐ)用流體(tǐ)校準難(nán)度不大(dà)，但在作(zuo)有害性(xìng)流體校(xiào)準時應(yīng)注意安(ān)全和環(huán)境污染(rǎn)。
3) 要(yao)求測量(liang)時防止(zhǐ)污染流(liú)體
若測量(liang)潔淨氣(qì)體和純(chún)水常不(bu)允許接(jiē)觸流體(tǐ)的儀表(biǎo)零件🔞材(cái)料析出(chu)離子，例(li)如半導(dao)體制備(bei)中儀表(biǎo)不👣能用(yong)🈲金屬和(hé)玻璃制(zhì)成，隻能(néng)用塑料(liào)。流體中(zhōng)也不允(yun)許混入(ru)☂️活動件(jiàn)的磨蝕(shí)塵粒。流(liú)量儀表(biao)流通通(tong)道要盡(jìn)可能簡(jian)單，不應(yīng)有潴留(liú) ( 指(zhǐ)液體在(zài)體内不(bu)正常地(di)聚集停(ting)留 ) 部位，防(fang)止潴留(liu)介質變(bian)質。
4) 氣泡和(hé)塵埃附(fù)着的影(ying)響
因管徑(jing)小黏性(xing)增加，液(yè)體中微(wēi)細氣泡(pao)易在管(guǎn)系流動(dong)過程中(zhōng)積聚變(bian)大，使測(ce)量時指(zhǐ)示不穩(wěn)，度下降(jiang)。流體中(zhōng)塵埃附(fu)着測量(liang)元件也(ye)要影響(xiang)測量值(zhí)，例如浮(fú)㊙️子流量(liàng)計的浮(fu)子上沉(chen)💰積有肉(rou)眼覺察(cha)不出的(de)附着層(ceng)也會影(yǐng)響示值(zhí)。
5) 流(liú)量儀表(biao)品種使(shi)用上受(shòu)到一定(ding)限制
在衆(zhōng)多測量(liang)原理流(liú)量儀表(biao)中，因各(ge)種原因(yin)小流量(liàng)應⭐用受(shòu)到一些(xie)限制，當(dang)前能應(yīng)用于小(xiao)流量的(de)品種如(rú)表格所(suo)示